感應(yīng)熔煉的步驟有用前檢查單晶爐、試用單晶爐、單晶爐正式工作、熔煉產(chǎn)品抽檢、調(diào)整測試、使用單晶爐完成后安全斷電，這些步驟都不可以省略。
    在感應(yīng)熔煉之前應(yīng)當(dāng)檢查好設(shè)備，看看有沒有明顯損壞的零部件，然后根據(jù)說明書的要求來操作試用，如果經(jīng)過試用工作正常，就可以開始正式生產(chǎn)了，但是生產(chǎn)的過程中也要不斷地檢查下產(chǎn)品，看產(chǎn)品的某些指標(biāo)是否達(dá)標(biāo)，產(chǎn)品質(zhì)量是否合格，如果指標(biāo)不達(dá)標(biāo)、質(zhì)量不合格就要調(diào)整下機(jī)器，直到熔煉的產(chǎn)品的品質(zhì)達(dá)到要求為止。

    常見的單晶爐故障有晶棒晃動，單晶爐晶棒晃動機(jī)器仍然可以正常運(yùn)轉(zhuǎn)，但是生產(chǎn)效率低，感應(yīng)熔煉的產(chǎn)品質(zhì)量差所以為了提高感應(yīng)熔煉的效率和質(zhì)量，不能盲目的熔煉，一定要對單晶爐進(jìn)行檢查。晶棒晃動要檢查一下提拉頭、冷卻系統(tǒng)和真空系統(tǒng)。如果是提拉頭出現(xiàn)問題，就要維修調(diào)整下減速機(jī)構(gòu)或旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。如果是冷卻系統(tǒng)和真空系統(tǒng)出現(xiàn)問題，需要調(diào)整一下硅料和重錘結(jié)構(gòu)。如果檢查這些地方?jīng)]有問題，看一下氬氣等惰性氣體是否在爐內(nèi)流動，氬氣在爐內(nèi)流動的話，就需要改裝一下單晶爐了，保證單晶爐熱場分布均勻。
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